ISO-KF
ISO-KF 連接由 Leybold 萊寶開發(fā),現(xiàn)在成為全球各種真空應(yīng)用中的小型接頭(內(nèi)徑達(dá) 50 mm)使用的主要法蘭類型。
它允許通過其快速釋放夾快速安裝和更換真空系統(tǒng)中的組件,因此又稱 QF,即快速法蘭。
每個連接都由兩個對稱的 ISO-KF 法蘭、一個帶 O 形圈墊片的定心環(huán)和一個夾緊環(huán)組成。只需轉(zhuǎn)動夾緊環(huán)的翼形螺母,即可在不使用工具的情況下進(jìn)行高真空密封 ISO-KF 連接。
它通常適用于低至 10-7 mbar/torr 的壓力,能夠承受高達(dá) 5 bar 的壓力,在使用金屬密封時可耐受高達(dá) 200 °C 的烘烤溫度,在使用 FPM 墊片時可耐受 150 °C 的烘烤溫度。
盡管如此,它的主要特點是組裝速度快,不需要使用工具即可提供真空密封。
ISO-K/ISO-F
ISO-K 和 ISO-F 接頭通常具有較大的直徑。
- 通常會優(yōu)先選擇 ISO-K 接頭,因為夾具可以定位在法蘭周圍的任何位置,而不是只在固定的螺栓連接點。
- ISO-F 法蘭的強(qiáng)度較高,因此常見于將法蘭用作結(jié)構(gòu)元件的情況。
這些法蘭類型的內(nèi)徑范圍從 DN 63 到 DN 630 不等(因此管徑為 70 到 650 mm)。由于定心環(huán)可以牢固地插入法蘭的定心槽中,因此即便是水平連接也可以快速方便地安裝。
通過此類連接,在使用金屬墊片時可達(dá)到低至 10-9 mbar 的壓力。同樣,在使用金屬法蘭時可達(dá)到高達(dá) 200 °C 的烘烤溫度,在使用 FPM 時可達(dá)到 150 °C 的烘烤溫度。
CF
CF 法蘭連接由兩個幾何形狀相同的法蘭組成,這些法蘭具有 OFHC 銅制平墊片、螺栓、螺母和墊圈。
CF 組件采用精選的耐腐蝕型不銹鋼材質(zhì)。這種密封非常堅固,因此在需要達(dá)到 UHV 壓力時會使用 CF 法蘭,此過程還需要進(jìn)行烘烤(適用于全金屬密封)。
所有組件都焊接在內(nèi)部,以防從一開始就出現(xiàn)任何可能構(gòu)成所謂虛漏的裂縫或槽孔。
尺寸從 DN 16 CF 到 DN 250 CF(內(nèi)徑 16 mm 到 250 mm)不等,常見于儀表、離子泵和渦輪分子泵上,用于達(dá)到超高真空壓力。
連接件
通過連接件滿足內(nèi)部控制和向真空傳遞力的需求。
我們有一系列標(biāo)準(zhǔn)電流型和高電流型連接件。我們還有一系列旋轉(zhuǎn)、液體、旋轉(zhuǎn)/線性連接件,可將力/物體傳遞到真空系統(tǒng)。