真空泵產(chǎn)品數(shù)量巨大，需求量大，產(chǎn)量不高，但這確實是一個直接影響真空設備功能質量不可缺少的基礎產(chǎn)品。真空泵的市場根據(jù)用戶的需求而發(fā)生變化。從半導體行業(yè)的快速發(fā)展和擴大干泵和分子泵應用領域為市場增長的主要驅動力。下面上海真空泵為大家介紹幾款常用的機型。

1、水環(huán)真空泵

雖然水環(huán)真空泵屬于粗真空泵，但在石油，化工，電力，紡織，造紙，醫(yī)藥產(chǎn)品方面仍有很大的市場。在國外，水環(huán)真空泵的銷售額占市場總額的14%，次于干泵，所以SEIMEMS和NASH，在中國KINNEY投資建設這樣的公司和建立銷售網(wǎng)絡，并在我們的市場份額不斷擴大[3]。由于水環(huán)泵大部分是鑄件，加工要求不高，勞動密集型產(chǎn)品，所以水環(huán)泵在價格上有競爭優(yōu)勢，關鍵是要改進設計，縮小體積，減輕重量，提高效率，降低能耗。

2、旋轉活塞泵

旋轉活塞泵是一種油封式真空泵。由于旋轉活塞泵更經(jīng)用，可靠，國內外各種真空爐，干燥設備涂布，浸液旋轉活塞泵是一種旋轉活塞泵前級泵，但鑄造重，處理工作量較大，所以國外真空廠都在中國尋找合作伙伴。為了使國產(chǎn)滑閥泵能夠進入國際市場，必須進一步降低泵的振動噪聲，防止泄漏和提高噴射以及旋轉活塞泵長期運行的可靠性。

3、直聯(lián)旋片泵

跟著真空技能在各個運用領域的需求不斷擴大，直聯(lián)旋片泵日益增加。因為這種泵數(shù)量，加工和裝置的作業(yè)量是十分大的，價格很低，所以在我國的一些外國真空制造商樹立工廠。國內中小型直聯(lián)旋片泵技能現(xiàn)已過，價格遠比國外泵廉價，所以國產(chǎn)泵仍然有競賽優(yōu)勢，關鍵是要處理軸封走漏和旋轉葉片資料以及真空泵油的功能質量問題，保證直聯(lián)泵在高速，高溫功能安穩(wěn)，作業(yè)牢靠，一起，進一步完善國內直聯(lián)旋片泵除水蒸氣的才能。

4、羅茨真空泵

從國外羅茨真空泵出產(chǎn)的狀況來看，國外一些大公司，他們每個羅茨泵的出售額占國際羅茨泵出售份額超越5%，這不僅是20%，共5家羅茨泵輸出魯本不大，但國外的羅茨真空泵價格比國產(chǎn)泵高很多[4]?，F(xiàn)在，國內外具有簡直一切大型或小型的高真空和真空系統(tǒng)，以縮短吸氣時刻、進步羅茨真空泵設備出產(chǎn)功率，因而國產(chǎn)羅茨真空泵有必要在占據(jù)國內商場的基礎上，成功進入國際商場，所以咱們有必要進一步削減國內的羅茨真空泵的振動噪聲，徹底處理軸封走漏問題，進步質量和進步泵內部外表的完和清洗。另外，乃至考慮到一些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz，更好的讓羅茨真空泵在長時間作業(yè)牢靠的前提下進步速度。

現(xiàn)在，國內空氣嵌入式羅茨真空泵進開展很快，技能上現(xiàn)已老練。因為這種泵在排氣口下方含氣體冷卻器，一部分經(jīng)過管道泵腔冷卻空氣來冷卻轉子的作業(yè)，從而使冰箱的熱量平衡，所以這種泵能夠直接銜接大氣。為了滿意極限真空泵系列的要求不同，這能夠被運用，一般增加空氣嵌入式羅茨真空泵，前級泵的極限真空度要到達一個高水平比。這種泵因為在泵室沒有作業(yè)介質，實際上是歸于干泵?，F(xiàn)在，在石油，化工，塑料，農藥有這種嵌入式羅茨真空泵及機組，汽輪機轉子動平衡，航天空間模仿設備有測驗的長時間作業(yè)，所以應該在我國推廣和運用[5]。

5、分子泵

在許多外國半導體工藝場合場分子泵替代低溫泵，尤其是濺射，蝕刻和堆積設備選用復合分子泵和牽引泵作為主泵。

因為分子泵對水蒸氣的抽速與直徑只要低溫泵的抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時刻比低溫泵長。為了進步抽速，國外在分子泵的進口側裝置一個130℃~ 150℃低溫冷卻板，稱為低溫分子泵，低溫板氣，其他氣體分子被抽走[6]。這種低溫分子泵在真空鍍膜設備上的運用，既進步了出產(chǎn)功率和進步涂層質量。跟著我國半導體工業(yè)，電影工業(yè)和科學研討工作迅速開展，分子泵應該是集中于我國真空泵制造業(yè)的開展。首要，分子泵樹立一套完好的體系，以及研討和開發(fā)不同的復合分子泵，牽引泵和低溫分子泵，以滿意不同場合的需求。

6、干式機械真空泵

國外的干式機械真空泵商場不斷增加，其主要驅動來自于半導體職業(yè)，化學工業(yè)，電影工業(yè)的快速開展。在日本，半導體職業(yè)已全部運用干式真空泵油密封型機械泵，而歐美半導體職業(yè)超越45%替換干式真空泵油密封型機械泵，大大進步了產(chǎn)品的功能和質量。為了滿意不同的運用和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵，多級爪式真空泵，螺桿真空泵和真空泵，往復式活塞真空泵和渦輪渦無油真空泵等。極端壓力從10 ~ 10-2Pa，從20m3/h ~ 500m3/h，依據(jù)計算抽速，現(xiàn)在國產(chǎn)干泵的運用還缺乏1%[7]，國內半導體工業(yè)與干泵全部從國外進口，價格十分貴重。因而，我國應大力研討和開發(fā)干泵，使干真空泵成為我國工業(yè)經(jīng)濟新的增加點。